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设备及材料应用验证

依托业界领先的12英寸集成电路产线,将客户生产的集成电路关键材料及装备放入产线验证,为客户提供包括协助与集成电路制造企业的技术需求对接、研发过程中的工艺技术的咨询指导、专业的测试数据报告以及改进方案指导等一系列研发验证服务,解决客户排队测试验证的难题,加快产品进入FAB的速率。

服务产品包括光刻胶(g-lineilineKrF、ArF、ArFi等)及其配套材料(TARC/BARC、显影液、剥离液)等集成电路专用材料,以及涂胶显影设备、硅通孔刻蚀/填充设备、激光切割设备、键合/解键合设备、清洗设备等集成电路全流程关键装备。

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